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机译:微晶硅:在柔性基板上的应变仪和传感器阵列,用于测量高变形
Kervran, Y.; De Sagazan, O.; Crand, S.; Coulon, N.; Mohammed-Brahim, T.; Brel, O;
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机译:使用半导体应变仪的柔性力或压力传感器阵列,其制造方法及其测量方法
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